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从粗硅转变为纯硅的流程中,四氯化硅是一种液体,
从含有粗硅的四氯化硅液体中粗硅转化为纯硅
:Si(粗)+2CL2=SiCL4SiCL4+2H2=Si(纯)+4HCL从粗硅转变为纯硅的流程中,四氯化硅是一种液
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