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共找到 1 与同样的进气量下剩余的两个靶可以加的很高真空度在0 相关的结果，耗时111 ms
磁控溅射的问题,靶电流加不上去有5个靶其中3个靶加不高电流,
同样的进气量下剩余的两个靶可以加的很高真空度在0
.5左右.这3个靶在到一定电流以后靶会出现一闪一闪的现象.电源有蜂鸣声,
其他
问题也不大 ,在低电流下练了
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