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共找到 1 与否则生成的硅烷将发生变质 相关的结果，耗时31 ms
（1）由于SiH4具有易提纯的特点，因此硅烷热分解法是制备高纯硅很有发展潜力的方法．制备硅烷整个过程必须严格控制无水，
否则生成的硅烷将发生变质
，其化学方程式为，整个系统还
化学
，它们往往具有高强度、耐高温
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