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共找到 1 与当前制备高纯硅的主要方法是在一定条件下以三氯甲硅烷为原料 相关的结果，耗时118 ms
多晶硅是太阳能光伏产业的基础材料．制备多晶硅必须先得到高纯硅．三氯甲硅烷（SiHCl3）是一种可燃，易与水反应的气体，
当前制备高纯硅的主要方法是在一定条件下以三氯甲硅烷为原料
化学
SiH2Cl2 SiH
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