用四乙氧基硅烷合成硅烷（四氢化硅）的技术的研究和工业化进展如何?资料报道：烷氧基硅烷法合成硅烷,简况如下直接合成,俄罗斯Intersolar和美国国家可再生能源实验室专利技术.•合

Question

用四乙氧基硅烷合成硅烷（四氢化硅）的技术的研究和工业化进展如何?
资料报道：烷氧基硅烷法合成硅烷,简况如下
直接合成,俄罗斯Intersolar和美国国家可再生能源实验室专利技术.
• 合成：Si+3ROH→HSi(OR)3+H2 （常压,180℃,直接合三烷氧基硅烷）
副反应：HSi(OR)3+ROH→Si(OR)4+H2
• 歧化：4SiH(OC2H5)3 → 3Si(OC2H5)4 +SiH4
或转化：3Si(OC2H5)4+Si+2H2→4SiH(OC2H5)3

Answer 1

有用多晶硅产物四氯化硅生产四氢化硅