硅及其化合物的开发由来已久，在现代生活中有广泛应用．回答下列问题．（1）工业上提纯硅有多种路线，其中一种工艺流程示意图及主要反应如图．发生的主要反应电弧炉Si

Question

硅及其化合物的开发由来已久，在现代生活中有广泛应用．回答下列问题．
（1）工业上提纯硅有多种路线，其中一种工艺流程示意图及主要反应如图．

	发生的主要反应
电弧炉	SiO2+2C (1600-1800℃.)/()Si+2CO↑
流化床反应器	Si+3HCl (250-300.)/()SiHCl3+H2
还原炉

①还原炉中发生主要反应的化学方程式为___，该工艺中可循环使用的物质为___和___（填化学式）．用石英砂和焦炭在电弧炉中高温加热也可以生产碳化硅，该反应的化学方程式为___．
②在流化床反应的产物中，SiHCl₃大约占85%，还有SiCl₄、SiH₂Cl₂、SiH₃Cl等，有关物质的沸点数据如下表，提纯SiHCl₃的主要工艺操作依次是沉降、冷凝和___．

物质	Si	SiCl4	SiHCl3	SiH2Cl2	SiH3Cl	HCl	SiH4
沸点/°C	2355	57.6	31.8	8.2	-30.4	-84.9	-111.9

③SiHCl₃极易水解，其完全水解的化学方程式为___．
（2）氮化硅（Si₃N₄）是一种高温结构材料，粉末状态的Si₃N₄可以由SiCl₄的蒸气和NH₃反应制取．粉末状Si₃N₄遇空气和水都不稳定．但将粉末状的Si₃N₄和适量氧化镁在230×1.01×105Pa和185°C的密闭容器中进行热处理，可以制得结构十分紧密、对空气和水都相当稳定的固体材料，同时还得到遇水不稳定的Mg₃N₂．
①由SiCl₄和NH₃反应制取Si₃N₄的化学方程式为___．
②四氯化硅和氮气在氢气气氛保护下，加强热发生反应，使生成的Si₃N₄沉积在石墨表面可得较高纯度的氮化硅，该反应的化学方程式为___．
③Si₃N₄和适量氧化镁在230×1.01×105Pa和185°C的密闭容器中进行热处理的过程中，除生成Mg₃N₂外，还可能生成___物质（填化学式）．热处理后除去MgO和Mg₃N₂的方法是___．

Answer 1

（1）①还原炉中SiHCl3和氢气发生反应制得纯硅，SiHCl3+H2 高温 . Si+3HCl，流程分析可知可循环使用的物质为HCl和H2；用石英砂和焦炭在电弧炉中高温加热也可以生产碳化硅，石英砂的主要成分是二氧化硅，制备粗硅...