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四氟化硅如何变成硅单质
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四氟化硅如何变成硅单质
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1950 年制出第一只硅晶体管,提高了人 们制备优质硅单晶的兴趣. 年用直拉法(CZ) (CZ)培育硅单晶成 们制备优质硅单晶的兴趣.1952 年用直拉法(CZ)培育硅单晶成 年又研究出无坩埚区域熔化法(FZ) (FZ), 功.1953 年又研究出无坩埚区域熔化法(FZ),既可进行物理提 纯又能拉制单晶. 年开始采用锌还原四氯化硅法生产纯硅 采用锌还原四氯化硅法生产纯硅, 纯又能拉制单晶.1955 年开始采用锌还原四氯化硅法生产纯硅, 但不能满足制造晶体管的要求. 但不能满足制造晶体管的要求.1956 年研究成功氢还原三氯氢 硅法. 氢还原三氯氢 硅法.对硅中微量杂质又经过一段时间的探索后, 对硅中微量杂质又经过一段时间的探索后, 硅法成为一种主要的方法. 硅法成为一种主要的方法.到 1960 年,用这种方法进行工业生 产已具规模. 硅整流器与硅闸流管的问世促使硅材料的生产一跃 产已具规模. 而居半导体材料的首位. 而居半导体材料的首位.60 年代硅外延生长单晶技术和硅平面 工艺的出现, 不但使硅晶体管制造技术趋于成熟, 而且促使集成 工艺的出现, 不但使硅晶体管制造技术趋于成熟, 电路迅速发展. 电路迅速发展.80 年代初全世界多晶硅产量已达 2500 吨
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