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半导体制造,DNS清洗机是做什么的使用哪些液另外IPA在清洗工序中是什么意思
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半导体制造,DNS清洗机是做什么的使用哪些液另外IPA在清洗工序中是什么意思
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答案和解析
DNS是厂商名字,中文叫迪恩士,就是化学清洗槽(也叫酸槽/化学槽),主要有HF,H2SO4,H2O2,HCL等酸碱液体按一定比例配置,目的是为了去除杂质,去离子,去原子,最后还有DI清洗.IPA是异丙醇,就是工业酒精,是用来clean机台或parts的,是为了减少partical的.
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