某微电子器件芯片中最小线宽为0.13μm，即nm，合m．

Question

某微电子器件芯片中最小线宽为0.13μm，即___nm，合___m．

Answer 1

1μm=10³nm=10^-6m，
世界上最先进的微电子器件芯片中的线宽为：
0.13μm=0.13×10³nm=130nm，
0.13μm=0.13×10^-6m=1.3×10^-7m．
故答案为：130；1.3×10^-7．