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人们常把集成电路称为微电子器件,这个“微”字不只是微小的意思,在物理学中,微电子器件是指芯片中线宽在lμm左右,目前,世界上最先进的线宽已降到0.13μm,合

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人们常把集成电路称为微电子器件,这个“微”字不只是微小的意思,在物理学中,微电子器件是指芯片中线宽在 lμm 左右,目前,世界上最先进的线宽已降到 0.13μm ,合            m ,它标志信息技术将从微电子时代发展到纳米电子时代。

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1.3 × 10 -7

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