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请问溅射制备的氮氧化钛能用什么东西腐蚀来测厚啊?TiON这样测取成膜厚度
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请问溅射制备的氮氧化钛能用什么东西腐蚀来测厚啊?
TiON 这样测取成膜厚度
TiON 这样测取成膜厚度
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答案和解析
1.最普通的用球磨法,设备简单,精确度偏低.
2.用台阶仪.先用涂改液在样片上划一道,镀膜后把涂改液擦掉,然后用台阶仪测量.
3.用干涉仪测量.
2.用台阶仪.先用涂改液在样片上划一道,镀膜后把涂改液擦掉,然后用台阶仪测量.
3.用干涉仪测量.
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