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如何清洗硅片
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如何清洗硅片
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清洗方法（一）RCA清洗：RCA 由Werner Kern 于1965年在N.J.Princeton 的RCA 实验室首创, 并由此得名.RCA 清洗是一种典型的湿式化学清洗.RCA 清洗主要用于清除有机表面膜、粒子和金属沾污.1、颗粒的清洗硅片表面的颗...
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