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半导体生产中常需要控制掺杂
,以保证控制电阻率,三氯化磷(PCl3)是一种重要的掺杂剂.实验室要用黄磷(即白磷)与干燥的Cl2模拟工业生产制取PCl3,装置如图所示:(部分夹持装置略
化学
水会强烈水解生成H3PO3和
半导体生产中常需要控制掺杂
,以保证控制电阻率,三氯化磷(PCl3)是一种重要的掺杂剂.实验室要用黄磷(即白磷)与干燥的Cl2模拟工业生产制取PCl3,装置如图所
化学
①黄磷与少量Cl
半导体生产中常需要控制掺杂
,以保证控制电阻率,三氯化磷(PCl3)是一种重要的掺杂剂.实验室要用黄磷(即白磷)与干燥的Cl2模拟工业生产制取PCl3,装置如图所示:(部分夹持装置略
化学
会强烈水解生 成 H3PO3
半导体生产中常需要控制掺杂
,以保证控制电阻率,三氯化磷(PCl3)中一种重要的掺杂剂.实验室要用黄磷(白磷)与干燥的Cl2模拟工业生产制取PCl3,装置如下图所示:(部分夹持装置略
化学
成POCl3,POCl3溶于
半导体生产中常需要控制掺杂
,以保证控制电阻率,三氯化磷(PCl3)是一种重要的掺杂剂。实验室要用黄磷(即白磷)与干燥的Cl2模拟工业生产制取PCl3,装置如下图所示:(部分夹
化学
成PCl 5 。PCl 3
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