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共找到 1 与第①步制备粗硅的化学方程 相关的结果，耗时16 ms
硅单质及其化合物应用范围很广．制备硅半导体材料必须先得到高纯硅，三氯甲硅烷（SiHCl3）还原法是当前制备高纯硅的主要方法，生产过程示意图如图1：（1）
第①步制备粗硅的化学方程
化学
2反应制备纯硅的装置如图2所
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