关于物质的检测方面的问题,化学或者材料科学的.如果我在氧化铝薄片上面做表面的一些实验（具体实验略）,由于氧化或其他化学反应,在其表面产生了新的一种化合物（含Al、O、H三种元素

Question

关于物质的检测方面的问题,化学或者材料科学的.
如果我在氧化铝薄片上面做表面的一些实验（具体实验略）,由于氧化或其他化学反应,在其表面产生了新的一种化合物（含Al、O、H三种元素）,假设其分子式为HxAlyOz我用什么仪器可以精确地测出H在这个新物质中的含量?即准确的定量测出其组成（x,y,z的数值）?我不知道用SIMS,AAS,ICP 这三个哪个好?或者别的仪器也可以!
我需要的答案是很专业的,一定要亲身做过的.不想看到复制粘贴的答案.
请问1楼和2楼,首先谢谢你们俩,可是你们两个的答案完全矛盾,我该听谁的?
我想把氧化铝薄片和其上面的金属一起检测（因为无法准确分离）,我知道XRD 不能满足我的要求,因为我试过.AAS和ICP是否只能测出比例?测不出具体的量?而且对待测样品有什么具体要求么?
如果你能给出有关AAS和ICP具体的参考文献（论文）,最好中文和英文的都有!我会给你追加分数!
继续补充.这答案是越来越多了啊!我到底怎么办啊,无语了.没有人用过SIMS（二次离子质谱分析法）么?

Answer 1

看完题目两行直接想到的是XRD 和标准谱图比较 就可以得出了.（粉末衍射）SIMS 不是很清楚,是什么质谱? 如果有相关资料请发到[e-mail],谢谢咯!AAS,ICP 测出Al,也只能知道它的质量比例……判断不了你要...