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氮化硅(Si3N4)是一种优良的高温结构陶瓷，在工业生产和科技领域有重要用途。Ⅰ工业上有多种方法来制备氮化硅，常见的方法有：方法一直接氮化法：
在1300-l400℃时
，高纯粉状硅与
化学
件下利用四氯化硅气体、纯氯气
氮化硅（Si3N4）是一种优良的高温结构陶瓷，在航天航空、汽车发动机、机械等领域有着广泛的用途．工业上有多种方法来制备氮化硅，常见的方法有：（1）
在1300-l400℃时
，高纯粉状硅与
化学
反应生成氮化硅和HCl．①已
氮化硅（Si3N4）是一种优良的高温结构陶瓷，在航天航空、汽车发动机、机械等领域有着广泛的用途．工业上有多种方法来制备氮化硅，常见的方法有：（1）
在1300-l400℃时
，高纯粉状硅与
化学
反应生成氮化硅和HCl．①已
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