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溅渡SIO2为什么在基片上会有SI的其他氧化物存在通过对基片上的SI的氧化物分析,其si的成分占68%左右,O2占23%左右。出现这样的情况会和镀膜的压力以及氧气量的配比有某种特定关系?溅镀
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溅渡SIO2 为什么在基片上会有SI的其他氧化物存在
通过对基片上的SI的氧化物分析,其si的成分占68%左右,O2占23%左右。出现这样的情况会和镀膜的压力以及氧气量的配比有某种特定关系?
溅镀SIO2 为什么在基片上会有SI的其他氧化物存在
通过对基片上的SI的氧化物分析,其si的成分占68%左右,O2占23%左右。出现这样的情况会和镀膜的压力以及氧气量的配比有某种特定关系?
溅镀SIO2 为什么在基片上会有SI的其他氧化物存在
▼优质解答
答案和解析
因为基片上的si还会与空气中的H2O CO2等含氧化合物反应生成含氧量不同的氧化物.
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