（2013•河南二模）氮化硅（Si3N4）是一种优良的高温结构陶瓷，在工业生产和科技领域有重要用途．工业上有多种方法来制备氮化硅，常见的方法有：方法一：直接氮化法：在1300℃-1400℃时

Question

（2013•河南二模）氮化硅（Si₃N₄）是一种优良的高温结构陶瓷，在工业生产和科技领域有重要用途．工业上有多种方法来制备氮化硅，常见的方法有：
方法一：直接氮化法：在1300℃-1400℃时，高纯粉状硅与纯氮气化合，其反应方程式为

3Si+2N₂(1300℃−1400℃.)/()Si₃N₄

3Si+2N₂(1300℃−1400℃.)/()Si₃N₄

．
方法二：化学气相沉积法：在高温条件下利用四氯化硅气体、纯氮气、氢气反应生成氮化硅和HCl，与方法一相比，用此法制得的氮化硅纯度较高，其原因是______．
方法三：Si（NH₂）₄热分解法：先用四氯化硅与氨气反应生成Si（NH₂）₄和一种气体（填分子式）______；然后使Si（NH₂）₄受热分解，分解后的另一种产物的分子式为______．

Answer 1

硅与纯氮气反应的化学方程式为：3Si+2N2 1300℃−1400℃ . Si3N4，故答案为：3Si+2N2 1300℃−1400℃ . Si3N4；方法一所得到的产品中混有单质硅，而方法二除产品是固体，其他物质均为...